龙门式大量程 支持定制式开发 凝聚业界
精华 VMG龙门型自动影像测量仪,其最大行程达2520×2020mm,适用于PCB、LCD等行业的大行程测量。它采用移动桥式结构,汇集了行业内最先进的设计理念,以最完善的设计和最严格的生产流程控制,确保机台的精度和稳定性。
VMG-龙门型 自动影像测量仪性能参数
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型号 |
VMG662 |
VMG962 |
VMG1292 |
VMG15122 |
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量程(mm) |
620×620×200 |
920×620×200 |
1220×920×200 |
1520×1220×200 |
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外部尺寸(mm) |
1320×1020×1680 |
1620×1020×1680 |
1920×1320×1680 |
2220×1620×1680 |
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重量(kg) |
700 |
900 |
1200 |
1500 |
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承重(kg) |
80 |
80 |
80 |
80 |
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精度 |
XY轴 |
E2=(3.0+L/200)µm |
| Z轴 |
E1=(5.0+L/200)µm |
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重复精度 |
XY轴 |
<3µm |
| Z轴 |
<5µm |
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速度 |
XY轴 |
300mm/S |
| Z轴 |
100mm/S |
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光栅尺分辨率 |
1.0µm, 0.5µm, 0.1µm(可选) |
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CCD |
SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 |
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光源 |
轮廓光 |
LED冷光源,256级亮度可调 |
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表面光 |
6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调 |
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同轴光 |
LED冷光源,256级亮度可调 |
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光学系统 |
Navitar 6.5:1可变倍,放大倍率29~163或58~326 |
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软件 |
Vispec测量软件 |
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运动控制 |
自主专利的CNC直流伺服系统 |
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保修期 |
1年 |
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工作环境 |
温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80% |
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振动<0.002g,低于15Hz |
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电源 |
90~264VAC,47-63Hz,10Amp |
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