高端超精密 成就卓越性能
高精密自动影像测量仪,凝聚了机械、控制、软件等各相关领域最尖端的科研成果。它在VMP的基础上进一步提升了测量精度,性能指标直击国际高端品牌,是目前国内精度最高、性能最稳定的自动影像测量仪。
技术参数
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型号 |
VMU322 |
VMU432 |
VMU542 |
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量程(mm) |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 |
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外部尺寸(mm) |
650×750×1100 |
750×900×1100 |
850×1050×1100 |
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重量(kg) |
140 |
180 |
220 |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
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精度 |
XY轴 |
E2=(2.0+L/300)µm |
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Z轴 |
E1=(3.0+L/200)µm |
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重复精度 |
XY轴 |
<2µm |
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Z轴 |
<3µm |
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速度 |
XY轴 |
200mm/S |
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Z轴 |
100mm/S |
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光栅尺分辨率 |
1.0µm, 0.5µm, 0.1µm(可选) |
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CCD |
SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 |
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光源 |
轮廓光 |
LED冷光源,256级亮度可调 |
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表面光 |
6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调 |
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同轴光 |
LED冷光源,256级亮度可调 |
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光学系统 |
Navitar 6.5:1可变倍,放大倍率29~163或58~326 |
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软件 |
Vispec测量软件(高端版) |
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运动控制 |
自主专利的CNC直流伺服系统 |
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保修期 |
1年 |
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工作环境 |
温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80% |
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振动<0.002g,低于15Hz |
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电源 |
90~264VAC,47-63Hz,10Amp |
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